레티클 블랭크 검사 시스템은 블랭크 제조업체에서 공정 개발 및 양산 과정 중에 결함 관리를 진행한다. 주로 레티클 제조업체(마스크 숍)에서 예정된 검사 시행, 툴 모니터링 및 공정 제어의 용도로 사용된다.
FlashScan 시스템은 광학 또는 극자외선(EUV) 노광용으로 고안한 레티클 블랭크를 검사할 수 있다. 특히 KLA-Tencor의 웨이퍼 결함 검사 포트폴리오의 레이저 산란 기술을 활용하여 현재 생산 또는 개발 중인 여타 모든 광학 및 EUV 블랭크의 감도와 속도 요구사항에 부합한다. 탑재된 3채널 컬렉터는 감광 코팅 면의 핀홀이나 블랭크 제조 또는 운송 도중에 나타날 수 있는 떨어진(fall-on) 입자 등과 같은 여러 가지 유형의 레티클 블랭크 결함을 감지하여, 크기를 알아내고 구별할 수 있다.
KLA-Tencor의 레티클 및 광대역 웨이퍼 검사 부문 전반 관리자인 야린 시옹(Yalin Xiong) 박사는 “발전적 노광(Advanced lithography)은 잘 특성화한 레티클 블랭크부터 시작한다”며, “결함이 없는 EUV 블랭크는 제조하기 극히 까다롭기로 악명이 높다”며 “KLA-Tencor의 신형 FlashScan 블랭크 검사기는 빈 기판, 흡수층 및 감광 코팅면 등에 존재하는 광범위한 결함 유형을 포착할 수 있고, 다른 시스템에 비해 처리량과 감도가 월등한 특징으로 학습 주기의 속도가 빨라지는 효과도 제공한다”고 말했다.
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