어플라이드 머티어리얼즈가 웨이퍼 생산 플랫폼 ‘비스타라(Vistara)’를 발표했다. 어플라이드 플랫폼 사상 지난 10여 년간 가장 중대한 혁신을 이룬 비스타라는 반도체 제조사에게 유연성, 인텔리전스, 지속가능성을 제공해 증가하는 반도체 생산 문제 해결을 지원한다.
전 세계 대부분의 반도체 생산에는 ▲엔듀라(Endura) ▲프로듀서(Producer) ▲센튜라(Centura) ▲센트리스(Centris) 등을 포함한 어플라이드 반도체 생산 플랫폼이 사용돼 왔다. 비스타라 플랫폼은 이 같은 어플라이드의 오랜 리더십을 기반으로 한다.
프라부 라자(Prabu Raja) 어플라이드 반도체 사업부 사장은 “이전 제품과 마찬가지로 비스타라는 고객 혁신, 신뢰성, 생산성 측면에서 오랜 기간 신뢰받는 플랫폼으로 자리잡기 위해 설계됐다”며 “반도체 제조의 복잡성, 비용, 케이던스, 탄소 배출 등 반도체 업계가 해결해야 할 문제가 늘고 있다. 비스타라는 문제 해결을 위한 고유 솔루션이 필요한 시기에 맞춰 출시됐다”고 밝혔다.
유연성: 반도체 제조사가 첨단 반도체 생산 분야에서 증가하는 복잡성 문제를 해결하는 데 비스타라의 유연성이 도움된다. 비스타라 플랫폼은 전례 없이 어플라이드와 파트너사의 다양한 챔버 유형, 크기, 구성과 호환된다. 4개 또는 6개 웨이퍼 배치 로드 포트, 최소 4개에서 최대 12개 프로세스 챔버로 구성돼 다양한 워크로드에 대응 가능하다.
인텔리전스: 고객은 비스타라 플랫폼의 인텔리전스를 통해 제품 출시 기간을 단축하고 양산 과정에서 생산성과 수율을 극대화함으로써 케이던스 및 비용 증가 문제를 해결할 수 있다. 비스타라 플랫폼은 수천 개 센서로 구성된다. 각 센서는 연구개발부터 공정 이전·증산·양산까지 응용되는 어플라이드 AIx 소프트웨어 플랫폼에 방대한 실시간 데이터를 제공한다. 수천 개 공정 변수에서 도출한 실행 가능한 데이터를 통해 엔지니어는 머신러닝과 인공지능(AI)을 활용, 최상의 칩 성능과 전력, 광범위한 공정 윈도우를 구현하는 레시피 생성을 가속화한다.
지속가능성: 반도체 공정의 복잡성과 단계가 늘면 생산에 필요한 에너지와 재료의 양도 증가한다. 비스타라는 어플라이드의 ‘3x30 이니셔티브’ 달성을 위해 특별 제작된 최초의 플랫폼이다. 2030년까지 등가 에너지 사용, 화학 물질 사용의 영향 및 클린룸 설치 공간 요구사항을 30% 절감할 수 있도록 설계됐다.
에코트윈 소프트웨어 출시: 어플라이드는 비스타라 플랫폼에 가장 처음으로 제공되는 에코트윈(EcoTwin) 생태효율성 소프트웨어를 출시했다. 에코트윈 소프트웨어는 센서 데이터를 사용해 엔지니어가 챔버와 시스템, 서브팹 컴포넌트의 에너지, 화학물질 소비량을 실시간 모니터링하도록 지원한다. 공정 엔지니어는 에코트윈 대시보드를 사용해 대체 화학물질, 레시피, 생산기술의 탄소 영향도를 비교해 노드의 생명 주기 전반에 지속가능성을 향상시키고 지속가능성 목표 달성의 진척 상황을 추적·보고할 수 있다.
