KLA, 자동차 반도체 칩 제조용 솔루션 출시
KLA, 자동차 반도체 칩 제조용 솔루션 출시
  • 김종율 기자
  • 승인 2021.07.19 12:47
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KLA이 자동차 반도체 칩 제조를 위한 신제품 4종을 출시했다.

KLA이 새롭게 선보이는 Surfscan SP A2/A3, 8935, C205 검사 시스템, 그리고 혁신적인 I-PAT® 인라인 스크리닝 솔루션은 자동차 칩 수율과 신뢰성을 향상시킨다.

이번에 발표한 4종의 신제품 중 세 가지 검사장비는 자동차 산업의 더 큰 설계 노드 반도체 칩 제조를 위한 보완적인 결함 검출, 모니터링 및 제어 솔루션을 제공한다.

Surfscan SP A2/A3 비패턴 웨이퍼 검사기는 DUV(심자외선, Deep Ultra Violet) 광학 및 고급 알고리즘을 통합하여 자동차 반도체 칩의 신뢰성 문제를 일으킬 수 있는 공정 결함을 식별하고 공정 설비들이 최고 성능으로 작동하는데 필요한 감도와 속도를 갖추었다.

C205 패턴 웨이퍼 검사기는 R&D 및 양산 과정에서 광대역 입사광 및 NanoPoint 기술을 활용하여 중대 결함을 고감도로 찾아내서, 새로운 공정 및 소자의 최적화를 앞당긴다.

8935패턴 웨이퍼 검사기는 양산 과정에서 새로운 광학 기술과 DefectWise 인공지능(AI) 솔루션을 활용하여 낮은 오류율로 다양한 중대 결함을 검출함으로써 최종 반도체 칩 품질에 영향을 줄 수 있는 이상 상태를 빠르고 정확하게 식별한다.


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