ACM 리서치(ACM Research)의 울트라 Fn 퍼니스(Ultra Fn Furnace) 장비가 전력반도체(power device) 칩 제조 공정에서 합금 어닐링(alloy anneal) 기능을 지원한다. 이 새로운 기능은 트랜지스터가 점점 더 소형화 박형화하고, 처리 속도가 빨라짐에 따라 절연 게이트 양극형 트랜지스터(IGBT) 제품 생산 시 계속해서 늘어나는 다양한 요구사항들을 충족할 수 있을 것으로 기대된다.
합금 어닐링 기능을 지원하는 울트라 Fn 퍼니스 장비는 불활성 가스와 환원성 가스 환경에서, 또는 마이크로-Torr 수준까지의 고진공 조건에서 어닐링 공정을 수행할 수 있다. 또한 이 장비는 웨이퍼 핸들링 시스템, 프로세스 튜브 및 보트의 특수 설계를 통해 박막 웨이퍼 또는 Taiko웨이퍼에도 적용이 가능하다.
이 장비는 12인치(300mm) 웨이퍼를 최대 100매까지 처리하도록 설계되었다. 울트라 Fn 장비는 SiN와 HTO용 LPCVD공정, un-doped poly/doped poly 증착, 게이트 산화 공정, 1200°C 고온 공정, 그리고 ALD 공정에도 활용이 가능하다.
ACM은 최근 합금 어닐링 공정용 첫 번째 장비를 중국 전력 반도체 제조사와 함께 상용화했다.
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