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KLA-Tencor, 신규 결함 검사 시스템 2종 발표
KLA-Tencor, 신규 결함 검사 시스템 2종 발표
  • 오현식 기자
  • 승인 2018.07.12 19:21
  • 댓글 0
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Voyager 1015·Surfscan SP7 … 공정·장비 모니터링의 난제 해결

KLA-Tencor가 첨단 로직 및 메모리 공정 노드의 실리콘 웨이퍼와 반도체 칩 제조 과정에서 장비와 공정 모니터링의 두 가지 핵심 난제를 해결하는 새로운 결함 검사장비 2종을 발표했다. 발표된 신제품은 Voyager 1015와 Surfscan SP7이다.

Voyager 1015 시스템은 웨이퍼 재작업이 가능할 때 포토레지스트 형성 직후 리소그래피 셀 검사를 포함한 새로운 패턴 웨이퍼 검사 기능을 제공한다. Surfscan SP7 시스템은 베어 웨이퍼나 필름의 결함을 검출한다. 이를 통하여 7nm 로직과 첨단 메모리 기술 노드를 위한 실리콘 기판 제조나 반도체 칩 제조 공정상의 이슈를 최대한 조기에 검출할 수 있다.

Surfscan SP7 비패턴 웨이퍼 결함 검사장비는 향상된 분해능 성능으로 웨이퍼를 시스템에서 제거할 필요 없이, 또 시스템 처리량에 영향을 주지 않고도 이물질, 스크래치, 슬립 라인, 스태킹 결함 등 다양한 결함 유형을 실시간으로 분류할 수 있다. 더불어 최대 전력 밀도를 정밀하게 제어할 수 있어 얇고 손상되기 쉬운 EUV 포토레지스트 검사도 가능하다.

Voyager 1015 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템은 새로운 검사 시 사용되는 조명, 수집, 그리고 센서 아키텍처를 활용하여 현상후검사ADI: After Develop Inspection 문제를 해결한다. Voyager 시스템 역시 탁월한 전력 밀도 제어 기능을 지원하여 포토레지스트의 인라인 검사가 가능하다.

KLA-Tencor의 오레스테 돈젤라 부사장은 “첨단 IC 기술을 사용하는 웨이퍼와 반도체 칩 제조사일수록 오류가 허용될 여지가 거의 없다”며, “비패턴/모니터 웨이퍼용과 패턴 웨이퍼용의 두 가지 결함 검사장비는 까다로운 결함 문제를 신속하고 정확하게 해결할 수 있도록 엔지니어들에게 핵심 역량을 제공한다”고 말했다.

 


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