다중광자 형광 현미경, 유전체 시퀀싱, 반도체 웨이퍼 검사 등 첨단 정밀 산업에서는 긴 이동 거리와 정밀한 수직 위치 제어를 동시에 구현할 수 있는 고성능 시스템이 필수적이다. PI(Physik Instrumente)는 이러한 고급 애플리케이션의 요구에 부합하는 보이스 코일 기반 오토포커스 솔루션 ‘V-308 PIFOC 포커스 드라이브’를 단납기로 빠르게 제공하고 있다.
V-308 PIFOC은 중앙에 탑재된 PIMag 보이스 코일 모터가 크로스 롤러 가이드 방식의 단축 캐리지를 구동하는 구조로 설계되었으며, 최대 8m/s²의 가속도와 200mm/s의 고속 이동을 지원한다. 이를 통해 100nm 또는 250nm의 미세 스텝 이동에서도 15ms 이하의 빠른 Step-and-Settle 시간을 실현할 수 있어 생산성 향상은 물론 정밀 포커싱과 신속한 데이터 수집에도 효과적이다.
또한, 고해상도 PIOne 리니어 엔코더를 통해 정밀한 위치 제어가 가능하며, 최소 10nm의 이동 거리와 100nm 범위 내에서 ±25nm의 양방향 반복 정밀도를 제공한다. 위치는 직접 이동 플랫폼에서 측정되므로, 백래시·비선형성·탄성변형 등으로 인한 오차 없이 안정적인 제어 성능을 유지한다.
V-308 PIFOC은 고속성과 정밀도, 통합의 용이성까지 갖춘 오토포커스 솔루션으로, 과학 및 산업 현장의 다양한 고급 응용 분야에서 높은 효율과 신뢰성을 제공한다.
컴팩트한 설계로 다양한 시스템에 통합
V-308 PIFOC은 87 x 77 x 30mm(H/W/D)의 소형 설계이므로 다양한 장비와 시스템에 손쉽게 통합할 수 있다. 어댑터 플레이트를 활용하면 미터 및 인치 규격의 광학 테이블 또는 브레드보드에 간단히 장착이 가능하다. 또한, 수평 및 수직 방향 설치 모두에 대응할 수 있도록 다양한 대물렌즈 홀더와 어댑터 링 세트가 옵션으로 제공되어 높은 설계 유연성을 제공한다.
오토포커스 애플리케이션 위한 최적화 설계
이 제품은 초기 설계 단계부터 오토포커스 및 고속 포커싱을 염두에 두고 개발되었다. 빠른 응답성과 정밀 제어 성능을 바탕으로, 자동 광학 검사, 고해상도 이미징, 레이저 기반 정밀 가공과 같은 고속 정밀 작업에 적합한 성능을 발휘한다.
과학 및 산업 현장의 광범위한 적용 가능성
V-308 PIFOC은 다양한 하이테크 응용 분야에서 활용된다. 예를 들자면, 생명과학 분야에서는 다광자 형광 현미경, 심부 조직 관찰, 디지털 슬라이드 스캔 시스템에 사용되며, Solexa/Illumina 기반 유전체 시퀀싱이나 면역 형광 측정 같은 생명공학 기술에도 적용된다.
의료 분야에서는 레이저 스캔 검안경 검사 장비와 같은 고정밀 장비에 활용되며, 반도체 산업에서는 웨이퍼 및 칩 검사 장비의 핵심 구성 요소로서 중요한 역할을 수행한다
