리니어 스테이지는 생산·가공·검사 등 폭넓은 영역에서 제품의 위치를 결정하는 이송장치다. LCD·OLED·반도체 등 정밀 부품 생산현장에서 활약하는 리니어 스테이지는 점차 정밀해지고, 작은 크기의 물체도 옮길 수 있으며, 속도 역시 빨라지고 있다. 리니어 스테이지 전문 기업인 순환엔지니어링이 개발한 최신 리니어 스테이지를 살펴본다.
자료 | 순환엔지니어링(www.soonhan.com)

디스플레이·반도체 장비용 정밀모션시스템 업체인 순환엔지니어링은 1993년 리니어 모터를 사용한 모션시스템으로 사업을 시작, 1998년 초정밀 스테이지를 최초로 개발하여 국산화한 기업이다. 

순환엔지니어링이 제작하는 리니어 스테이지는 싱글·스택·갠트리·에어 베어링·스플릿·배큠 스테이지 등으로 나눌 수 있다. LCD, OLED, 반도체, PCB 등의 검사·연마·조립 공정 장비에서 위치 결정 및 이송 작업에 주로 사용된다. 

순환엔지니어링의 강점은 생산시설과 기술 그리고 인력 등을 아우르는 경쟁력에 있다. 순환엔지니어링은 이미 13세대까지 내다본 생산시설을 보유하고 있다. 여기에는 국내에서 가장 먼저 리니어 스테이지를 제작해서 공급한 선발업체의 노하우가 담겨 있다.

순환엔지니어링이 개발한 스테이지는 어떤 것이 있는지 살펴보자.

OLED ELA 장비용 단평면 에어베어링 스테이지 
순환엔지니어링은 국내 스테이지 제조업체 최초로 에어베어링 스테이지를 개발했다.
단평면(Single Plane) 스테이지는 X·Y 두 축이 같은 평면상에 위치하여 슬라이드의 위치를 최대한 낮춰 Abbe(아베) 오류를 최소화할 수 있으며, 나노미터 급 초정밀 스테이지에서 많이 사용되고 있다. 또한 스캔 축에 에어베어링을 사용하여 속도편차·반복정밀도·안정화 시간 등의 성능이 뛰어나다. 

순환엔지니어링은 8세대 이상 크기의 LCD·OLED 장비용 대형 스테이지가 가지고 있는 물류 측면의 어려움을 해소하기 위해 분리 조립형 제품을 개발했다. 정밀 에어베어링 스테이지 제품 또한 분리 조립형을 제공한다.

초고진공용 스테이지
반도체 제조 공정에서 말썽을 일으키는 주범은 공기 중 오염물질(파티클)이다. 오염물질은 그 입자 크기로 인하여 반도체 회로의 패턴 결함을 유발한다. 반도체 업계의 ‘적’인 이유이다.
순환엔지니어링은 풍부한 초고진공용 스테이지 제작 경험을 바탕으로 초고진공용 스테이지 제작에 필요한 소재 및 세정 공정을 정확히 이해하고 있다. 따라서 오염 및 디버깅에 대한 손실을 최소화하는 노하우를 갖고 있다.